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現(xiàn)場動平衡儀成功應(yīng)用中芯國際半導體公司
來源:
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作者:mike
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發(fā)布時間: 2021-03-31
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在積體電路晶片生產(chǎn)中，對微振有較高要求的通常為光刻設(shè)備以及掃描電子顯微鏡提工精度保障。
所以對積體電路生產(chǎn)廠區(qū)微振動環(huán)境要求嚴格。
臺灣宏富信精密儀器應(yīng)用中芯國際磨床和風機等設(shè)備，儀器對精密設(shè)備振動分析、故障檢測、動平衡調(diào)試等提供幫助。
如精密磨削砂輪動平衡和車間風機等設(shè)備降低振動、提升精度、減少噪音。
中芯國際集成電路製造有限公司領(lǐng)xian的集成電路晶圓代工企業(yè)之一，也是內(nèi)地技術(shù)先進、
配套完善、規(guī)模大、跨國經(jīng)營的集成電路製造企業(yè)集團，提供0.35微米到14納米不同技術(shù)節(jié)點的晶圓代工與技術(shù)服務(wù)。
風機轉(zhuǎn)子調(diào)試數(shù)據(jù)：從監(jiān)測轉(zhuǎn)子的1、2、3、4四個點的位置來看。
2號點振動值最大17.861mm/s而且靠近轉(zhuǎn)子葉輪，這個位置適合動平衡調(diào)試。
2號點動平衡後的數(shù)值：
12.82mm/s
8.66mm/s
7.2mm/s
5.6mm/s
4.01mm/s
3.8mm/s
0.42mm/s
動平衡後振動值呈下降趨勢。
2號點動平衡後，在測試其他三個點位水準位振動都有改善降低。
